【摘 要】
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经济在快速的发展,社会在不断的进步,我国的综合国力在不断的加强,为了使石墨烯电声换能器获得最优性能,主要针对石墨烯热致发声器件和静电式发声器件进行了发声机理研究,通
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经济在快速的发展,社会在不断的进步,我国的综合国力在不断的加强,为了使石墨烯电声换能器获得最优性能,主要针对石墨烯热致发声器件和静电式发声器件进行了发声机理研究,通过理论建模和分析,得到了薄膜尺寸、厚度以及应力等结构参数对两种电声换能器的频率响应特性的影响规律。通过微纳加工制造方法设计和制备了一批不同结构参数下的电声换能器,并对这些器件进行了性能测试和对比分析,结果表明:薄膜厚度对热致电声换能器发声声压影响显著,即薄膜越薄, 该电声换能器的发声声压越大;薄膜半径、厚度和应力对静电式电声换能器的频带影响较大
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