【摘 要】
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本文介绍CXG—1型磁悬浮转子真空计(简称磁悬规)用于真空标准比对的方法与结果。比对共进行两组,一组是中国计量科学研究院的静态膨胀系统与标准压缩计装置;另一组是吉林省计
【机 构】
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中国计量科学研究院,中国计量科学研究院,清华大学,清华大学,清华大学
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本文介绍CXG—1型磁悬浮转子真空计(简称磁悬规)用于真空标准比对的方法与结果。比对共进行两组,一组是中国计量科学研究院的静态膨胀系统与标准压缩计装置;另一组是吉林省计量检定测试所和中国计量科学研究院的两台标准压缩计装置。结果表明:CXG—1型磁悬规工作可靠、性能稳定。在1.3×10~(-3)～1.3Pa压力范围内,进行真空量值的比对得到了较满意的结果。
This paper introduces the CXG-1 magnetic suspension rotor vacuum gauge (referred to as magnetic suspension gauge) method and result of the vacuum standard comparison. A total of two groups were matched, one was the static expansion system of China Institute of Metrology and the standard compression gauge device; the other was two standard compression gauge devices of Jilin Metrology and Testing Institute and China Institute of Metrology. The results show that the CXG-1 magnetic suspension has reliable performance and stable performance. In 1.3 × 10 ~ (-3) ~ 1.3Pa pressure range, the comparison of the vacuum value obtained satisfactory results.
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