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采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、磁控溅射和阴极电弧离子镀技术相结合的方法,合理利用金属Cr靶和TiAl靶,选择性地在硬质合金基体上沉积了具有不同中间层(Cr、TiAl、TiAlN、Cr/TiAl/TiAlN)的复合结构体系类金刚石(DLC)涂层.选用拉曼光谱、光学显微镜、扫描电子显微镜和能谱仪对涂层形貌和结构进行表征测试.同时,利用显微硬度计、洛氏硬度计、划痕测试仪和球磨仪系统地分析了涂层的力学性能.研究结果表明:基体/Cr/TiAl/TiAlN/DLC涂层体系综合性能最佳,具有较高硬度(～3251 HV)的同时结合性能最优(结合力～56.2 N),且抗磨损能力最强.Cr/TiAl/TiAlN较其它中间层可更有效地缓解涂层体系内应力并提高基体/涂层间的结合强度和抗磨损能力.基体/TiAlN/DLC涂层体系复合硬度最高(～3350 Hv),但其韧性最差、结合力最低(～35 N),在硬质合金基体上直接沉积TiAlN作为中间层不利于提高基体/涂层间的结合强度.