【摘 要】
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采用HF、HNO3和纯水的混合溶液对多晶硅片进行表面酸腐蚀绒面制备。实验通过调整制绒设备滚轮转速来控制刻蚀深度,制备出深度分别为3.2μm、3.5μm和3.8μm的电池硅片,然后进
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采用HF、HNO3和纯水的混合溶液对多晶硅片进行表面酸腐蚀绒面制备。实验通过调整制绒设备滚轮转速来控制刻蚀深度,制备出深度分别为3.2μm、3.5μm和3.8μm的电池硅片,然后进行相同的电池生产工序,制备出生产用电池片。对比制绒微观形貌和电学性能参数,结果显示：在片源、电池生产实验工艺参数相同,制绒刻蚀深度为3.5μm时,制备出的绒面微观腐蚀坑均匀致密,电池转换效率最优。
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