【摘 要】
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为研究离心试验中微机械加速度计的线性度和输入加速度的关系，分析闭环系统的位置误差，然后根据微机械加速度计闭环系统的输出公式，对离心试验的加速度输入和电压输出之间的关系
【基金项目】
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国家“十五”科技攻关基金资助项目（41308050103）.
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为研究离心试验中微机械加速度计的线性度和输入加速度的关系，分析闭环系统的位置误差，然后根据微机械加速度计闭环系统的输出公式，对离心试验的加速度输入和电压输出之间的关系进行最小二乘分析，提出单程线性度和全程线性度的公式，证明线性度为输入的二次曲线函数，且与开环系统低频环路增益有关。线性度公式表明增大低频环路增益，增大悬臂梁机械刚度以提高线性度的方法。利用电测法估算机械参数，并利用离心试验的数据进行验证。结果表明，可以利用±1g静态翻滚试验的数学模型和电气参数来估计高g输入下的线性度，理论值与实测值
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