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扫描电镜利用精细聚焦电子束照射在样品表面，该电子束可以是静止或在样品表面作光栅扫描。在这个过程中，电子束与样品相互作用产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征x射线和不同能量的光子等，这些信号来自样品中的特定区域，分别利用探测器接收，可以提供样品的各种信息，用于研究材料的微观形貌、晶体学特征和微区化学成分。