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本文主要探讨了老化时间与处理温度对纳米多孔二氧化硅薄膜结构的影响。结果表明随着老化时间的增加，薄膜的三维网状结构越明显、孔径分布更均匀、孔隙率越高、孔径越大。经450℃高温热处理后，颗粒长大，孔径增大，孔径分布不均匀，且薄膜厚度几乎不受老化时间的影响，说明湿凝胶薄膜在异丙醇气氛下老化后的强度是足够抵抗凝胶薄膜在异丙醇溶剂中老化放生的变化过程而引起的薄膜收缩。