【摘 要】
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目的在316L不锈钢基体表面磁控溅射NiCrZr薄膜,提高其在3.5%NaCl溶液中的耐蚀性。方法采用非平衡磁控溅射技术,在316L不锈钢基体上,用NiCr(原子比80:20)复合靶和纯Zr靶制备了
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划2015AA034404),国家自然科学基金(51772176),泰山学者攀登计划(tspd20161006).
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目的在316L不锈钢基体表面磁控溅射NiCrZr薄膜,提高其在3.5%NaCl溶液中的耐蚀性。方法采用非平衡磁控溅射技术,在316L不锈钢基体上,用NiCr(原子比80:20)复合靶和纯Zr靶制备了不同Zr含量的NiCrZr薄膜。采用XRD、原子力显微镜、扫描电镜和Gamry电化学工作站,分别分析了NiCrZr薄膜的物相组成、表面形貌、表面粗糙度、截面形貌、元素组成、厚度以及在3.5%NaCl溶液中的电化学腐蚀性能。结果随着Zr靶功率的增加,薄膜中Zr含量不断增加,薄膜的组织结构不断细化,表面粗糙度由4.
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