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通过改变温度，用腐蚀的方法制备出用于近场光学显微镜的光纤探针。通过控制光纤在不同温度的腐蚀液中腐蚀的时间，制备出多种形貌的光纤探针，所制作探针的锥形过渡区短而锥角大。该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、制备的探针表面光滑等优点。利用该方法成功地制备出针尖尺寸50-300nm、针尖锥角在40°～74°可调的光纤探针。将制备的探针用于扫描全息光栅（500线／mm），结果在40mm范围内扫描有20个周期，与全息光栅的标定结果相符。