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针对三维叠层存储器三温测试时的温度监测难题，提出了一种利用ATE测试设备测量引脚寄生二极管正向压降，从而监测存储器内部芯片温度的技术。该技术还可用于存储器并联引脚开路失效的故障分析。通过理论推导，得出存储器多引脚并联结构二极管正向压降与温度之间的线性关系，并通过了试验验证。
三维叠层模块温度监测及故障分析技术
【摘 要】
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针对三维叠层存储器三温测试时的温度监测难题，提出了一种利用ATE测试设备测量引脚寄生二极管正向压降，从而监测存储器内部芯片温度的技术。该技术还可用于存储器并联引脚开路
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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电子技术应用
【发表日期】
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2017年1期
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