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ITO（氧化铟锡）导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏，其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成。现在对轻、薄的要求越来越高，这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET（23μm厚度以下）平整度控制难度，故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置，并已在产线成功使用。
柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究
【摘 要】
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ITO（氧化铟锡）导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏，其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成。现在对轻、薄的要求越来越高，这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET（23
【机 构】
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安徽方兴光电新材料科技有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2018年9期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技