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硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计
硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong537
【摘 要】
:
介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结
【作 者】
:
盛平
王寿荣
许宜申
【机 构】
:
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2006年z2期
【关键词】
:
陀螺
双端音叉谐振器
标度因数
结构优化
gyroscope double-ended tuning fork resonator (DETF) scale f
【基金项目】
:
国家863资助项目(2002AA812038)
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介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计.利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机.
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