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简要描述了一台频率为２．４５ＧＨｚ的电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体源的特性测试，结果表明，放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件８７．５ｍＴ时，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在９３ｍＴ处。ＥＣＲ源在真空度为０．１－１Ｐａ间均能运行。由石英、Ａｌ２Ｏ３陶瓷和ＢＮ构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率为２００－７０