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电感耦合等离子体原子发射光谱/质谱（ICP-OES/MS）技术因具有灵敏度高、动态线性范围宽、分析速度快以及多元素同时检测等综合优势,在痕量/超痕量元素分析中占据主导地位,但进样技术直接决定着ICP-OES/MS的分析性能和应用范围.基于该方法自创建以来的研究发展,根据样品存在状态和物理性质的差异,把ICP-OES/MS分析的进样技术分为气体进样技术、液体进样技术和固体进样技术三类并进行相关对比评论.以期给潜在用户提供仪器配置选择参考和给专业研究者提供文献信息.