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为解决微小器件的高精度、高分辨率的测量问题，文章研制了一台基于蓝光DVD光学读取头的非接触式探头，实现了对微小尺寸的三维高精度测量。该探头的设计是对市售的蓝光DVD光学读取头的改进，改装后使用数值孔径为0．85的聚焦透镜。蓝光DVD光学读取头发出波长405nm的蓝光扫描被测量器件，减小了聚焦弥散斑直径，提高了探头的分辨率。对组装好的探头进行了测试，实验结果证实，该探头的分辨率优于1nm，对阶高为2μm的标准器件重复测量的标准差为21nm。