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钼金属在离子减薄制样仪样品夹具材料中的应用
钼金属在离子减薄制样仪样品夹具材料中的应用
来源 :分析测试技术与仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leninho
【摘 要】
:
针对离子减薄制样仪的样品夹具易污染、变形失效等问题,提出了以钼金属替代普通不锈钢作为夹具材料,结合实践进行验证.结果表明:使用钼金属为夹具材料显著提高了离子枪及其重
【作 者】
:
陈小平
邓小娟
【机 构】
:
天津大学分析测试中心
【出 处】
:
分析测试技术与仪器
【发表日期】
:
2020年2期
【关键词】
:
钼金属
样品夹
离子减薄制样仪
molybdenum metalsample holderion beam thinner
【基金项目】
:
天津大学实验室建设与管理改革项目(项目编号LAB2018-B14),天津大学分析测试中心科学技术研发基金(2019)
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针对离子减薄制样仪的样品夹具易污染、变形失效等问题,提出了以钼金属替代普通不锈钢作为夹具材料,结合实践进行验证.结果表明:使用钼金属为夹具材料显著提高了离子枪及其重要部件的寿命,减少了工作舱的污染及样品间的交叉污染,提高了减薄样品的质量及其结构和元素分析的真实性,具有重要的应用价值.
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