【摘 要】
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通过混料实验设计筛选出合适的光刻胶剥离液体系及组份含量。对剥离液体系进行持续溶解监控,借助六西格玛过程控制分析确定更优的剥离液组合物。溶胶量的测试结果证明,含溶剂
【机 构】
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西陇科学股份有限公司,南京江宁高等职业技术学校,丽水学院生态学院
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通过混料实验设计筛选出合适的光刻胶剥离液体系及组份含量。对剥离液体系进行持续溶解监控,借助六西格玛过程控制分析确定更优的剥离液组合物。溶胶量的测试结果证明,含溶剂二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加剂200的剥离液,其溶胶量可超4.1 m^2/加仑,这样就可以减少光刻胶剥离液开槽次数,提高生产效率,降低成本。
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