【摘 要】
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利用二氧化硅纳米微球为模板,先将Ag(银)纳米颗粒修饰在二氧化硅纳米微球表面(Ag@SiO2微球),再将其以二维模板的形式有序排布在Si(硅片)表面,以H^+含量比较高的H2O2与HF作为
【机 构】
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桂林理工大学博文管理学院,桂林航天工业学院,河北师范大学
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.11747008);广西壮族自治区中青年教师基础能力提升项目(2018KY0856)
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利用二氧化硅纳米微球为模板,先将Ag(银)纳米颗粒修饰在二氧化硅纳米微球表面(Ag@SiO2微球),再将其以二维模板的形式有序排布在Si(硅片)表面,以H^+含量比较高的H2O2与HF作为腐蚀液,反应结束后得到孔径与分布较均匀的有序多孔硅。发现由于多孔硅的有序孔与内部空气形成声子晶体模型,加强了声子散射,使得有序多孔硅热导率相对于无序多孔硅有一定提高。
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