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为了解决大型流程工业系统状态监测故障诊断系统的传感器优化配置问题,基于多级流模型（MFM）的传感器优化配置,在多级流模型分析的基础上,提出了一种改进的失效模式与影响分析（FMEA）方法。以故障可检测性及可分辨性作为约束函数,利用测点-故障敏感度、传感器可靠性及成本系数构造了一种新的复合优化目标函数,建立传感器优化配置模型并给出了优化算法,最后给出了电站除氧器实例。分析结果表明该方法的可行性和有效性。