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为了检测机床刀具的三维位移、实时显示刀具的进刀量,提高工件的加工精度,研究并设计了一种基于光栅位移传感器的高精度三维光栅位移测量系统.分析了光栅位移传感器的测量原理,详细介绍了系统的软件设计与实现,并对系统进行了实验验证.实验结果表明：系统的软件设计合理、执行高效,实现了相关的功能;测量系统运行稳定、测量精准,可满足机床高精度测量的生产需求.