基于绝缘体上硅材料的25通道200GHz的阵列波导光栅

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dqqwa

【摘要】

：

报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δxi/Δxo/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结

【作者】

：

袁配王玥吴远大刘丽杰安俊明胡雄伟

【机构】

：

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,中国科学院大学材料科学与光电技术学院

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2018年6期

【关键词】

：

硅基光电子阵列波导光栅双刻蚀结构波分复用/解复用器 silicon photonicsarrayed waveguide gratingsdouble-e

【基金项目】

：

National Key R&D Program of China(2016YFB0402504).

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报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δxi/Δxo/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W2/L2/L3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5~7dB,串扰为13~15dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.

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