氦质谱检漏试验方法分析

来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Rang3r
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从电子元器件气密性封装的原理入手,介绍了常用的检漏试验方法,阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展,分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求,并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。
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