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阐述了半导体光电位置敏感器探测器（PSD）的特性及定位理论，在此基础上，分析了双面PSD的空间分辨率与引起畸变的原因，建立了双面PSD的模型；采用敏感前置放大器的信号波形，对双面PSD内的非线性与模拟的结果进行分析与对比，提出了利用电荷灵敏前置放大器改善PSD的内在畸变的方法。最后给出了关于双面PSD的几个重要结论。