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期刊论文
P型硅外延片工艺技术的研究
P型硅外延片工艺技术的研究
来源 :中国科技投资 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dd506935273
【摘 要】
:
本文主要以6英寸的P型硅外延片的具体生产工艺进行了深入探讨.相关人员通过对相关工艺进行优化,对产生的非主动掺杂效应做好了科学的抑制,应用FTIR、SRP等测试手段来对相关电
【作 者】
:
王宏杰
张孟强
【机 构】
:
河北普兴电子科技股份有限公司
【出 处】
:
中国科技投资
【发表日期】
:
2017年15期
【关键词】
:
6英寸
均匀性
P型硅外延
非主动掺杂
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本文主要以6英寸的P型硅外延片的具体生产工艺进行了深入探讨.相关人员通过对相关工艺进行优化,对产生的非主动掺杂效应做好了科学的抑制,应用FTIR、SRP等测试手段来对相关电学参数及其相应形貌做出了认真的检测有着显著的效果,并且不同参数都满足器件的需要.
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