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本文讨论了控制单晶中氧含量的重要性，采用与100mm单晶对比的方法，分析125mm单晶中氧含量的横向、纵向分布情况，以及各种工艺条件对它的影响。
测量、分析Φ125mm单晶片氧含量及其分布
【摘 要】
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本文讨论了控制单晶中氧含量的重要性，采用与100mm单晶对比的方法，分析125mm单晶中氧含量的横向、纵向分布情况，以及各种工艺条件对它的影响。
【机 构】
：
中国华晶电子集团公司硅材料工厂!无锡,214061
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1998年1期
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