多晶铜微小试样的ISDG试验

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【摘要】

：

介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(Microelectronic Mechanical System,MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统.拉伸试样的厚度只有200μm,试验段宽度为300μm,用有限

【作者】

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汤忠斌徐绯徐武军李玉龙

【机构】

：

西北工业大学,成都飞机工业集团有限公司,西北工业大学

【出处】

：

机械科学与技术

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

MEMS 力学性能 ISDG 薄膜拉伸有限元 MEMS Mechanical properties ISDG Thin films Tension

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介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(Microelectronic Mechanical System,MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统.拉伸试样的厚度只有200μm,试验段宽度为300μm,用有限元法模拟拉伸试验时试样的应力分布,分析试样几何形状参数对应力分布的影响并优化设计了试样,采用激光干涉应变计法测量试样应变,得到多晶铜试样的应力-应变曲线.

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