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本文叙述了用CW-CO_2激光作热源,驱动硅烷和氨反应,制备Si_3N_4超细粉。讨论了制备超细粉所用的实验装置和工艺条件。
用激光驱动气相反应制备Si3N4超细粉
【摘 要】
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本文叙述了用CW-CO_2激光作热源,驱动硅烷和氨反应,制备Si_3N_4超细粉。讨论了制备超细粉所用的实验装置和工艺条件。
【机 构】
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黑龙江省科学院技术物理所,哈尔滨工业大学应用物理系
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1990年3期
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