AZ9260光刻胶制作连续非球面微透镜阵列的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kfanffvga

【摘要】

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为解决研制深浮雕连续非球面微光学元件所面临的浮雕深度和面型控制这两大难点,选取吸收系数小的AZ9260正性光刻胶进行实验研究.提出了采用低温长时间前烘和连续升温后烘技术

【作者】

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张晓玉姚汉民杜春雷潘丽邱传凯

【机构】

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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

AZ9260光刻胶连续非球面微透镜阵列光刻深浮雕面型控制 AZ9260 photoresist successive non-sphere micro-

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为解决研制深浮雕连续非球面微光学元件所面临的浮雕深度和面型控制这两大难点,选取吸收系数小的AZ9260正性光刻胶进行实验研究.提出了采用低温长时间前烘和连续升温后烘技术实现深浮雕结构和非球面面型的控制,并得到口径为300 μm、抗蚀剂厚度为35.49μm、石英刻蚀深度为72.36μm双曲线柱面透镜的最佳光刻工艺参数.实验曲线与标准双曲线拟合所得最大误差为2.363 7μm,均方根差为0.977 9 μm.

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