Low Temperature Growth of GaAs on Si byIon Beam Cluster Technique

来源 :RARE METALS | 被引量 : 0次 | 上传用户：orientaladam

【摘要】

：

ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＧｒｏｗｔｈｏｆＧａＡｓｏｎＳｉｂｙＩｏｎＢｅａｍＣｌｕｓｔｅｒＴｅｃｈｎｉｑｕｅＹｕＨｕａｉｚｈｉ，ＦｅｎｇＤｅｓｈｅｎ，ＬｉｕＪｉａｎｐｉｎｇ（余怀之）（冯德伸）（刘建平）（ＧｅｎｅｒａｌＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕ...

【作者】

：

余怀之冯德伸刘建平

【机构】

：

GeneralResearchInstfor

【出处】

：

RARE METALS

【发表日期】

：

1996年2期

【关键词】

：

EPITAXY CLUSTER DEPOSITION DepositionEpitaxial growthIon beamsSemiconducting gal

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