【摘 要】
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根据全介质F P多层介质薄膜滤波器的原理 ,设计并模拟计算了一种三腔 10 0GHz窄带通滤波片膜系结构 ,利用等离子辅助镀膜和光学监测技术 ,在F7玻璃衬底上完成了器件的制备 ,
【机 构】
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复旦大学信息学院光科学与工程系,复旦汇成先进光电子器件联合实验室 上海,200433,上海,200433
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根据全介质F P多层介质薄膜滤波器的原理 ,设计并模拟计算了一种三腔 10 0GHz窄带通滤波片膜系结构 ,利用等离子辅助镀膜和光学监测技术 ,在F7玻璃衬底上完成了器件的制备 ,并解决了衬底减薄、抛光和后继镀膜等关键工艺 .光谱特性测量的结果表明 ,研制的器件将在光通信以及信息技术的其它领域具有重要的应用价值 .
According to the principle of all-dielectric FP multi-layer dielectric thin film filters, a three-cavity 10 0GHz narrow band-pass filter film structure is designed and simulated. Plasma-assisted coating and optical monitoring technology are used to complete the device on the F7 glass substrate , And solved the key processes such as substrate thinning, polishing and subsequent coating.The results of spectral characteristics measurement showed that the developed devices will have important application value in optical communication and other fields of information technology.
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