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从理论上对线性伸展模式的石英振子的动态特性进行了分析，讨论了在近场效应作用下，影响晶振品质因数的各种阻尼，并将所获得的解析模型与实验结果进行了比较。
晶振式非接触表面轮廓传感器的动态特性
【摘 要】
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从理论上对线性伸展模式的石英振子的动态特性进行了分析，讨论了在近场效应作用下，影响晶振品质因数的各种阻尼，并将所获得的解析模型与实验结果进行了比较。
【机 构】
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北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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1999年6期
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