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<正>为解决量传溯源问题,广东省计量科学研究院依托国家质量监督检验检疫总局科研项目"微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究",以及广东省科学技术厅科研项目"微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究",研制出了微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等产品,可用于扫描电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪的校准。在此基础上,广东计量科学研究院率先在国内建立了扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪校准两项大区级