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以斜率检测的面形重构算法为基础，结合导轨指向误差的实验标定结果，分析了导轨指向误差来源对实际检测结果的影响，并对理论分析进行了数值仿真与补偿。结果表明，基于扫描哈特曼原理的波前检测技术对高频误差不敏感；通过拟合低频误差可提高波前检测精度。该研究结果对波前检测技术的工程应用具有重要指导意义。
扫描哈特曼波前检测技术的误差分析研究
【摘 要】
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以斜率检测的面形重构算法为基础，结合导轨指向误差的实验标定结果，分析了导轨指向误差来源对实际检测结果的影响，并对理论分析进行了数值仿真与补偿。结果表明，基于扫描哈特曼原理的波前检测技术对高频误差不敏感；通过拟合低频误差可提高波前检测精度。该研究结果对波前检测技术的工程应用具有重要指导意义。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室，吉林长春130033中国科学院大学,北京100049
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2016年53期
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