快速可变换研磨的开发和应用

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文中介绍快速可变换研磨的理论开发和应用.研磨时研具基体提供了基本几何形状,且其局部的研磨作用,取决于薄膜厚度的性质.磨料附着于薄膜上,研磨时工件和研具基本上不直接接触.由于研具基体的工作表面几何形状不会改变,给提高研磨精度提供了必要条件.文中详细地介绍了该方法的开发应用情况.
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