高频重离子源工作物质的源内化学合成与溅射

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<正> 在前几年的工作中,我们对通常的高频源进行了改进,研制了一个高频型重离子源.它可以引出多种元素的离子束,但是在产生挥发温度高且无稳定化合物的元素的离子束时遇到了困难.
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