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介绍了刚性模具微纳米热压印技术及研究现状,采用了自主研制的微纳米压印样机与飞秒激光刻蚀的SiO2模板在PMMA表面压印出微透镜阵列,并分析了压印过程中对微透镜阵列表面形貌影响的各种因数,提出了解决方法。
刚性模具微纳米热压印技术研究
【摘 要】
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介绍了刚性模具微纳米热压印技术及研究现状,采用了自主研制的微纳米压印样机与飞秒激光刻蚀的SiO2模板在PMMA表面压印出微透镜阵列,并分析了压印过程中对微透镜阵列表面形貌
【机 构】
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陕西国防工业职业技术学院
【出 处】
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广西轻工业
【发表日期】
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2011年8期
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