【摘 要】
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本课题主要研究碳化硅基金属陶瓷、普通钢两种不同材料的冲蚀角度、磨料粒径、冲蚀时间(磨料量)和磨粒形状对靶材冲蚀率的影响,实验前期需确定合适的压力和气体流量来稳定控
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本课题主要研究碳化硅基金属陶瓷、普通钢两种不同材料的冲蚀角度、磨料粒径、冲蚀时间(磨料量)和磨粒形状对靶材冲蚀率的影响,实验前期需确定合适的压力和气体流量来稳定控制冲蚀颗粒的速度,从而稳定控制冲蚀颗粒冲蚀靶材的其他变量,得出不同因子对材料冲蚀率的影响,并分析造成这些影响的原因。
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