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论述了介质阻挡强电离放电形成方法及其产生臭氧的等离子反应过程。实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解。采用α型Al2O3制成电介质薄层（230um）以及窄放电间隙（110um）的新工艺、新技术、取得折合电场强度E／n大于400Td的强电离放电，电子取得平均能量大于10eV，臭氧浓度达到250g/Nm^3，臭氧产生效率达到200g/kWh。进行实现了臭氧产生装置生产组合模块化、小型化。