【摘 要】
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采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌（NZO）透明导电薄膜。通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响。
【基金项目】
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山东省自然科学基金资助项目（ZR2009GQ011）
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采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌（NZO）透明导电薄膜。通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响。实验结果表明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为（002）方向。溅射功率从40W增加到80W时,薄膜的电阻率迅速下降;功率超过80W时,电阻率趋于平稳。在溅射功率为100W时,电阻率具有最小值5.89×10-4Ω.cm,光学带隙具有最大值3.395eV。实验制备的NZO薄膜附着性能良好,在可见光
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