退火处理Fe（Co）Al（Zr）O系薄膜磁性能的研究

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangqi1234

【摘要】

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采用射频磁控溅射装置在氩气氛下制备了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜及其选区衍射来分析薄膜的微结构.用振动样品磁强计、磁导计等测量了矫顽力Hc、饱和磁化

【作者】

：

叶超群徐政

【机构】

：

同济大学材料科学与工程学院,同济大学材料科学与工程学院

【出处】

：

材料科学与工程学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

磁性薄膜 Fe(Co)Al(Zr)O 磁控溅射 magnetic film Fe（Co）Al（Zr）O magnetron sputtering

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采用射频磁控溅射装置在氩气氛下制备了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜及其选区衍射来分析薄膜的微结构.用振动样品磁强计、磁导计等测量了矫顽力Hc、饱和磁化强度Ms及磁导率等磁性参数.通过退火处理研究了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜的磁性能.Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁各向异性是由形状各向异性引起的.

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