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4H-SiC肖特基势垒二极管结终端刻蚀技术研究

来源 :智能电网 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dionysos223

【作 者】

：

王嘉铭 钮应喜 裴紫微 赵妙 杨霏 李俊杰 李俊峰 张静 许恒宇 

【出 处】

：

智能电网

【发表日期】

：

2016年06期

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