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采用溶胶-凝胶法,以正硅酸四乙酯（TEOS）和甲基三乙氧基硅烷（MTES）为前驱体,利用浸渍提拉法镀膜,经60℃烘干2h制得疏水SiO2薄膜.研究MTES与TEOS摩尔比、乙醇加入量、加水量对薄膜疏水性能的影响.采用傅里叶变换红外光谱仪（FT-IR）、X线衍射仪（XRD）、接触角分析仪对薄膜的性能和结构进行表征.结果表明：制得的薄膜含有大量的-CH3,具有良好的疏水性;薄膜呈非晶态结构.当n（MTES）/n（TEOS）=2、n（H2O）/n（MTES＋ TEOS） =2、n（乙醇）/n（MTES＋ TEO