高性能半绝缘4H-SiC衬底AlGaN/GaN HEMT

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：duaneking

【摘要】

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利用南京电子器件研究所的MOCVD设备在半绝缘4H-SiC衬底外延生长了Al GaN/GaN异质结,运用该材料研制了8GHz输出功率密度10.52W/mm的HEMT器件。非接触霍尔测试表明,经过优化的

【作者】

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任春江李忠辉焦刚钟世昌董逊薛舫时陈辰陈堂胜

【机构】

：

南京电子器件研究所单片集成电路与模块国家重点实验室

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2008年S1期

【关键词】

：

氧化镓铝/氮化镓高电子迁移率晶体管电流崩塌 AlGaN/GaN HEMT current collapse

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利用南京电子器件研究所的MOCVD设备在半绝缘4H-SiC衬底外延生长了Al GaN/GaN异质结,运用该材料研制了8GHz输出功率密度10.52W/mm的HEMT器件。非接触霍尔测试表明,经过优化的Al GaN/GaN异质结材料中的二维电子气(2DEG)面密度为1.0×1013cm-2,迁移率达1880cm2/V.s。在该材料上研制了栅长0.35μm带场板的Al GaN/GaNHEMT,小信号测试表明器件fT为31.6GHz,最高振荡频率fmax为36.8GHz。研制的1mm栅宽器件8GHz、

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