【摘 要】
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本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理 ,重点分析了光纤探针的基本理论 ,导出了理想状态下光纤探针与被测表面的耦合效率 ,分析了光纤探针扫描时表面轮廓对耦
【机 构】
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天津大学!天津300072; 河北工业大学!天津300130;
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目! (No592 750 65)
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本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理 ,重点分析了光纤探针的基本理论 ,导出了理想状态下光纤探针与被测表面的耦合效率 ,分析了光纤探针扫描时表面轮廓对耦合效率的调制原理。给出了单模光纤探针探头的基本结构。在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试 ,给出了实验结果和误差分析 ,并与多模光纤探针的测试结果进行了比较
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