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本文对垂直梳齿结构应用于大偏转角的情况进行了回顾和分析,指出此类芯片可靠性方面先天性不足。提出一种带辅助电极的基于预置偏转角方法的新型芯片,该芯片不但工艺简单,而且采用商品SOI硅片,成本得以有效降低。由于辅助电极的引入,使芯片具有大偏转角的同时,驱动电压得到有效降低,适于用作光开关芯片。
带辅助电极的大偏转角MEMS芯片设计
【摘 要】
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本文对垂直梳齿结构应用于大偏转角的情况进行了回顾和分析,指出此类芯片可靠性方面先天性不足。提出一种带辅助电极的基于预置偏转角方法的新型芯片,该芯片不但工艺简单,而
【机 构】
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上海鸿辉光通科技股份有限公司
【出 处】
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电子科学技术
【发表日期】
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2016年5期
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