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介绍了电子束物理气相沉积(EB-PVD)设备的结构、工艺技术特点等,重点介绍了EB-PVD技术在制备各种防护涂层方面所取得的成果及研究进展.
EB-PVD及其制备功能涂层的研究进展
【摘 要】
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介绍了电子束物理气相沉积(EB-PVD)设备的结构、工艺技术特点等,重点介绍了EB-PVD技术在制备各种防护涂层方面所取得的成果及研究进展.
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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2007年z1期
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