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介绍了平行平板结构内一种考虑次级电子能量分布的微放电统计理论。首先推导了电子在射频场作用下的运动轨迹,构建了电子完成双边碰撞的关于渡越时间的概率密度函数,然后通过电子出射相位的稳态假设,给出了稳态积分方程。最后根据Au与Ag两种材料由蒙特卡罗方法获得的次级电子发射系数曲线,计算得到相应的敏感区域。