【摘 要】
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阵列和杜瓦瓶的设计本阵列如图1所示,由72个(面积为0.0012平方英寸)元件构成,分成二排,每排36个,相邻元件的中心距离为0.0018英寸。制作这样小而密集的元件,要求提高工艺的
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阵列和杜瓦瓶的设计本阵列如图1所示,由72个(面积为0.0012平方英寸)元件构成,分成二排,每排36个,相邻元件的中心距离为0.0018英寸。制作这样小而密集的元件,要求提高工艺的一致性,使厚度的容许误差小于1微米。构
Array and Dewar Design The array, shown in Figure 1, consists of 72 (0.0012 in. Area) elements in two rows of 36 in each row, with adjacent elements centered on 0.0018 inch. Producing such small, dense components requires increasing the process consistency so that the allowable thickness tolerance is less than 1 micron. Structure
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