【摘 要】
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研制一种高亮度细束可拆卸电子枪。电子束工作电压10kV,总束流100—300μA。在采用直径20μm的圆形或20×20μm~2的方形物孔限制光阑时,通过物孔光阑的束流是1—2μA,束角为5
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研制一种高亮度细束可拆卸电子枪。电子束工作电压10kV,总束流100—300μA。在采用直径20μm的圆形或20×20μm~2的方形物孔限制光阑时,通过物孔光阑的束流是1—2μA,束角为5×10~(-3)。对电子枪的结构作了介绍,对阴极灯丝、阳极头、物孔光阑等的制造和组装也作了说明。枪外径特别小,只有17mm,可用于大屏幕油膜光阀、热塑记录等需要动态真空系统的场合。
Development of a high brightness beam detachable electron gun. Electron beam working voltage 10kV, the total beam 100-300μA. When using a 20μm diameter circular aperture or a 20 × 20μm aperture limiting aperture, the aperture through the aperture diaphragm is 1-2μA, beam angle of 5 × 10-3. The structure of the electron gun is introduced. The manufacture and assembly of the cathode filament, the anode head and the aperture of the object are also described. Gun small diameter, only 17mm, can be used for large-screen film light valve, thermography and other dynamic vacuum system where the occasion.
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