全屏蔽同轴微型热电偶的研制

来源 :中国医学物理学杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:auh123123
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本文叙述了研制全屏蔽同轴微型热电偶珠过程,它包括了溅射、电泳漆、真空镀膜等工艺,这在国内是首创。
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